Nikl-niobové terče jsou rozprašovací terče vyrobené tavením niklu (Ni) a niobu (Nb) jako hlavních prvků v určitém poměru. Používají se především při procesech fyzikálního napařování (PVD), zejména magnetronovém naprašování, k přípravě funkčních tenkých vrstev na různé substráty.
Způsob přípravy terčů ze slitin niklu-niobu
1. Příprava surovin: Jako suroviny vyberte niklové a niobové prášky vysoké{1}}čistoty a zajistěte, aby jejich čistota splňovala cílové požadavky na přípravu. Například čistota niklových a niobových prášků může každý dosáhnout více než 99,9 %.
2. Míchání prášku: Prášek niklu a niobu přesně odvažte podle navrženého poměru složení slitiny a důkladně je promíchejte v míchacím zařízení. K zajištění rovnoměrného míchání lze použít kulové mletí, které řídí vhodnou dobu mletí a poměr koule k -materiálu.
3. Lisování: Rovnoměrně promíchané prášky se umístí do formy a lisují pomocí izostatického lisování za studena (CIP) nebo izostatického lisování za tepla (HIP), aby se vytvořil cílový polotovar s určitou hustotou a pevností. Izostatické lisování za studena (CIP) umožňuje počáteční zhutnění prášku při relativně nízkém tlaku, zatímco HIP dále zvyšuje hustotu cílového polotovaru při vysoké teplotě a vysokém tlaku.
4. Slinování: Vylisovaný polotovar terče se slinuje ve vakuové peci, aby se odstranily póry mezi částicemi prášku a zlepšila se hustota a výkon terče. Slinovací teplota a čas jsou klíčové parametry. Teploty slinování se typicky pohybují od 1000 stupňů do 1500 stupňů a doby spékání se pohybují od několika hodin do několika desítek hodin. Optimalizace závisí na složení a velikosti cíle.
5. Obrábění: Po slinování vyžaduje cíl opracování, jako je soustružení a broušení, aby se dosáhlo požadovaných rozměrů a povrchové úpravy.
Aplikace terčů ze slitiny niklu{0}}nibia
Polovodiče: Mohou být použity pro naprašování k vytvoření bariérových vrstev, elektrod a propojení. Tenké filmy ze slitiny niklu-nibia účinně zabraňují difúzi atomů kovů, zlepšují výkon a spolehlivost polovodičových součástek a jsou klíčové pro výrobu integrovaných obvodů.
Technologie displeje: U plochých-panelových displejů, jako jsou OLED a displeje z tekutých krystalů, lze terčíky ze slitiny niklu-nibium použít k vytvoření elektrod nebo reflexních vrstev, což pomáhá zlepšit jas obrazovky, rychlost odezvy a stabilitu barev.
Optické povlaky: Lze je použít k vytvoření různých optických povlaků, jako jsou infračervené reflexní filmy a filmy odolné proti laserovému-poškození, pro aplikace v přesných optických zařízeních, laserových systémech a optických přístrojích, které splňují různé požadavky na optický výkon.
Povlak odolný proti opotřebení-a korozi-: Díky vynikající odolnosti proti opotřebení a korozi lze terčíky ze slitiny niklu-nibiové slitiny použít k vytváření tenkých vrstev odolných proti opotřebení- a korozi- na mechanických dílech a površích nástrojů, čímž se prodlužuje životnost a výkon součástí. Mají široké uplatnění v průmyslových odvětvích, jako je letecký průmysl, automobilová výroba a obrábění.
