Naprašovací terče ze slitin niklu-kobaltu-železa obsahují specifické podíly niklu (Ni), kobaltu (Co) a železa (Fe). Tyto slitiny se vyrábějí do rovinných nebo rotačních naprašovacích terčů a používají se v průmyslu polovodičů, fotovoltaiky, přesné optiky a funkčních povlaků. Příprava těchto slitin je specifická a vyžaduje pozornost k detailu, aby bylo dosaženo jednotného chemického složení, hustoty-tuhého stavu, jednotné granulace a kvality povrchů.
Způsob přípravy naprašovacích terčů ze slitin niklu-kobaltu{1}}
Tavení surovin: Bloky niklu, kobaltu a železa vysoké čistoty jsou dávkovány a umístěny do vakuové indukční tavicí pece. Materiály se zahřívají ve vakuu, dokud nejsou všechny úplně roztaveny a míchány, aby se zabránilo segregaci kompozice.
Odlévání a tváření: Roztavená slitina niklu a kobaltu železa se nalije do grafitové formy a ochladí se, aby se získal legující sochor a zabránilo se tvorbě hrubých zrn.
Kování a válcování: Slitiny jsou podrobeny vysokoteplotnímu{0}}procesu kování a válcování za tepla, aby se narušila struktura odlitku.
Obrábění a lepení: Materiál slitiny niklu-kobaltu-železa je řezán- do tvaru a syntetizován.
Použití naprašovacích terčů ze slitin niklu-kobaltu{1}}
Integrované obvody, kde se používá pro vrstvy difúzní bariéry Cu, dvouvrstvé elektrody Ta/CoFe a vrstvy bez magnetických tunelových spojů (MTJ).
Tenkovrstvé solární články, kde slouží jako zadní elektroda nebo nárazníková vrstva pro zvýšení ohmického kontaktu a odolnosti vůči povětrnostním vlivům.
MEMS a senzory, kde se používá při výrobě nízkoztrátových induktorů, magnetických stínících vrstev a mikro-magnetických aktuátorů.
Povrchové funkční nátěry, kde se používá jako -odolný proti opotřebení, korozi{1}}a dekorativní nátěr na automobilové díly, spojovací materiál pro letectví a biomedicínské implantáty.
