Naprašovací terče lze podle tvaru rozdělit na terče rovinné a terče otočné. Rovinné terče jsou dlouhé terče, čtvercové terče, nebo kulaté terče o určité tloušťce apod., které se zhotovují vázáním přířezu terče a podkladové desky. Během naprašování jsou polotovar terče a substrát vzájemně rovnoběžné a mezi terčem a substrátem se vytváří elektromagnetické pole. Rotující terče jsou trubicové terče a během naprašování se vytváří elektromagnetické pole směrem k substrátu. Planární cíle jsou všestrannější, ale mají nižší míru využití; rotující terče mají vyšší míru využití, ale špatnou rovnoměrnost povlaku.
Výhody rotujících terčů
1. Rotační terče mají vyšší materiálové využití
Rotující terče mohou během rotace rovnoměrně spotřebovávat povrch terče, čímž se zlepšuje materiálové využití terče, které může obvykle dosáhnout 70%-90%. Protože se však rozprašování účastní pouze jedna pevná strana rovinného terče, budou se během použití vytvářet „rýhy" nebo „dýmky", což má za následek nerovnoměrnou spotřebu materiálu a míra využití materiálu je obecně 30 % až 40 %. U drahých terčů (jako jsou drahé kovy nebo materiály vzácných zemin) mohou rotační terče výrazně snížit náklady a zlepšit ekonomické výhody.
2. Rotační terče mají lepší rovnoměrnost rozprašování
Rotující terče se během provozu nepřetržitě otáčejí, takže každá poloha na povrchu terče je rovnoměrně vystavena plazmě, čímž se vytváří rovnoměrnější rychlost rozprašování. To má zjevné výhody pro aplikace s vysokými požadavky na jednotnost filmu (jako jsou displeje a polovodičové procesy). Planární terče jsou náchylné k nerovnoměrné tloušťce filmu kvůli místnímu nadměrnému-rozprašování, zejména u velkoplošných substrátů nebo kontinuální výroby.
3. Rotační terče mají delší životnost
Protože rotační terče spotřebovávají rovnoměrnější materiál, jejich životnost je obvykle delší než u terčů rovinných. To znamená, že za stejných pracovních podmínek je frekvence výměny rotačního terče nižší, což snižuje prostoje zařízení a zlepšuje efektivitu výroby. U některých kontinuálních výrobních procesů, jako je velkoplošné potahování a potahování válečkem-do{4}}válce, může rotační cíl výrazně prodloužit výrobní cyklus a snížit náklady na údržbu.
4. Rotující terče mají vyšší kvalitu filmu
Vrstva filmu naprášená rotujícím terčem je hustší a jednotnější, což je vhodné pro některé aplikace s extrémně vysokými požadavky na kvalitu filmu (jako je výroba špičkových{0}} elektronických zařízení a polovodičových zařízení). Otočný terč totiž dokáže účinně redukovat vady způsobené nerovnoměrným rozprašováním na povrchu terče a zlepšit kvalitu a konzistenci filmové vrstvy.
Závěr
Ve srovnání s planárními terčíky mají rotační terče vyšší využití materiálu, delší životnost, rovnoměrnější naprašovací efekt a přizpůsobují se velko{0}}plošné a velkoobjemové{1}} výrobě. Díky tomu jsou rotační terče důležitou volbou v oblasti moderního nanášení tenkých vrstev, zejména ve velkoplošných-potahování, kontinuální výrobě a-výrobě elektronických zařízení nejvyšší třídy.